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石英管注意事項：

·         ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·         由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。

·         當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)，避免因內(nèi)外壓差導(dǎo)致石英管變形。

·         進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·         石英管的長時間使用溫度＜1100℃

·         對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

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